项目时间：2024.03

项目背景

某单位委托合肥综合性国家科学中心能源研究院智慧电力中心研究不同互连工艺下的碳化硅器件耐高温能力评估及失效分析项目，智慧电力中心接受委托并进行此项研究测试工作。

技术目标

针对压接式、有压烧结银、无压烧结银、有压烧结铜四组不同互连工艺下的碳化硅器件设计并开展200℃高温功率循环实验，分析不同互连工艺的失效模式及失效机理。

技术内容

1. 针对压接式、有压烧结银、无压烧结银、有压烧结铜四组器件开展200℃分钟级功率循环实验；

2. 在功率循环实验前后进行静态电参数、热阻及超声波扫描测试；

3. 分析不同互连工艺器件的失效机理。

技术方法和路线

1. 针对四组互连工艺的碳化硅器件进行室温条件下的静态电参数测试；采用瞬态双界面法进行结-壳热阻测试，对比不同互连工艺器件热阻值；通过超声波扫描检测互连层的完整性。

2. 针对四组器件开展Tjmax为200℃，ΔTj为100℃的分钟级功率循环实验，实验中监测结温、导通电阻、功耗及热阻变化情况。

3. 根据实验结果分析各组器件的失效模式及失效机理。